產品服務
1、CMOS,分立(li)器(qi)件(jian),功(gong)率(lv)器件, GeSi和埋(mai)層等外延
2、外延片(pian)直(zhi)徑:76、100、125、150、200 mm
3、月生產能力10萬片以上(6英寸外延片)
4、10級潔淨廠(chang)房
5、外延爐:
LPE3061
LPE2061s
CSD EpiPro 5000
ASM Epsilon2000
Rexon 2
6、矽源(yuan):
三(san)氯氫矽
二氯氫(qing)矽
矽烷(wan)
7、摻雜源:
26
3
3
8、生長(zhang)模式:
常(chang)壓
減壓(ya)
9、客戶(hu)特(te)定參(can)數